设备前端模块(EFEM)在半导体生产中扮演着至关重要的角色，它们负责在高洁净环境下，通过精密机械手将单片晶圆传输至工艺、检测模块。这些模块属于半导体生产设备的核心组成部分，其中包括晶圆装载系统、晶圆运输机器人和晶圆对准器等关键部件。根据调研机构恒州诚思(YH)的数据，2024年至2024年，全球...